我相信，只要给我们时间和经费，我们一定能追上。

只是，我们一直在国内，没有什么机会到外面去学习交流，也不知道现在的国际最高水准是什么样子，有没有厂商做出了I线设备。

单是这样闭门造车，不知道外面的世界多么广阔，实在是不敢妄言一定能做到最先进的水平。

不过，我可以保证的是，我们团队的研发能力和学习能力是很强的，我们不怕吃苦，特别能克服困难。

我们团队研究光刻机的条件很艰苦，完全是从零开始，当时国内没有任何研发光刻机的经验给我们借鉴，成员们也都没做过光刻机，都是凭着各自专业内的知识和经验，一边学，一边干。

我们都是拿着死工资，没有一分钱的奖金，也没有加班费，但所有成员都有很强的奉献精神，主动加班加点，没日没夜地苦干。

除了缺乏技术和经验，我们还缺设备。

可以说，用来造光刻机的高端设备和精密仪器，我们都没有，外国全都不卖给我们，国内也不能生产。”

“那怎么办？”

“还能怎么办？我们只能自己设计，再自己制造。”

“啊，我虽然不是很懂技术，但我知道光刻机是一个很复杂的机器，精度很高，用到的设备也很多，像是什么特殊气体啊、激光啊、光学仪器啊之类的，这些都要你们自己造吗？”

“对，我们也是被逼得没办法了。

举几个例子：

为了解决第一代光刻机的‘超高精度测量定位’这个问题，必须采用一种叫作‘工业用数字式激光干涉仪’做平面坐标精密定位控制系统，像这个干涉仪就属于尖端技术产品，国内生产不了，但又非得用不可，我们只能自己制造。

我们先研制这种干涉仪用的可稳频的氦-氖气体激光器，然后一步步地做精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数字控制用的计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等，这些器件都是我们团队成员自己研制的。

我们先画出图纸来，检查好设计没问题后，再一个螺帽、一个螺母地在车间里打样，合格了以后再在学校精密仪器系的工厂规模生产。

在我们做第二代光刻机的时候，当时这种分步投影光刻机在国外也还处于研究阶段。

我们靠着自主研发，独立研究出了气动自动调焦技术、暗场同轴自动对准技术、亚微米级大视场投影光刻物镜设计等一系列技术，这些研究都处于当时的世界先进水平。”

说话间，徐端颐从抽屉里拿出一叠文件，翻到其中一页，一边指给张思明看，一边解释：

“可以说，我们不仅研制了光刻机，还把生产光刻机所用的微细加工专用设备都生产出来了。

像是分步重复照相机、铬版精缩机、图形发生器、电子束曝光机这些，都是成套的集成电路前序加工设备，几乎集中了近代最高的光学微细加工、精密机械、测试、自动控制领域上的技术。

也是因为这个原因，国家在我们学校成立了微细工程研究所，用来研发微细加工技术和专用设备。

微细加工技术不单是能用在集成电路制造上，在信息学、生物学领域也能用得上。

所以，在我们光刻机项目没了之后，我还能用现有的微细设备开展光盘存储技术的研究……”

徐端颐好像还没忘记他那个光盘项目，说到最后，又绕回了光盘研究上。

张思明有点哭笑不得：

“徐教授，像你们团队这是把光刻机这条产业链都跑通了呀。

你们团队正好是我们元亨需要的人才，我们集团的实力也是摆在这的，那个光盘项目究竟有什么魔力，能惹得您老这么念念不忘？”

徐端颐心虚地看了一眼王院长和系主任，没有说话。

系主任知道徐端颐的顾虑，他站出来说了说徐端颐的情况。

原来，此时的水木大学研究经费吃紧，徐端颐刚被砍了一个光刻机项目，想继续研究光盘项目，却申请不到经费。

徐端颐和老婆商量，寻思着贷款搞研究。

然而，到银行贷款需要房产等不动产做抵押，但徐端颐一家住的是学校分配的员工宿舍，哪有什么能抵押出去的“不动产”，所以徐端颐只能在学校内部想办法。

无奈之下，徐端颐只好求爹爹告奶奶地在学校找其他项目负责人借钱，最后，好不容易，经学校的财务处协调，徐端颐从科研处借到了60万的贷款，这笔钱是必须要还的。

徐端颐两口子属于高工资，徐端颐在水木的工资是每个月800元，老婆是医生，一个月500元，但和这60万贷款比起来就是毛毛雨了，一旦徐端颐研发失败，家里还都还不起。

张思明听完后，豪气地小手一挥：“徐教授，这好办。我听系主任说，你这光盘项目反正还没开始。正好你把贷款申请取消，到我们元亨来，不就行了？”

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徐端颐又看了一眼王院长，发现王院长没有不悦的神色，才颇为拘谨地说道：“我和团队成员都是学校的人，我们都要服从学校的安排。”

王院长立刻笑眯眯地说道：

“学校对徐教授和团队成员到元亨工作是非常支持的。

徐教授，你们的光刻机项目就这么终止了也太过可惜，到需要的地方去发光发热也好。”

徐端颐没想到学校这么爽快地就要放人，这可是上百号研究人员呀！

他张了张嘴，想说什么，最终却没说出口。

见状，张思明看明白了，徐端颐心里是有所顾虑，他直接说道：“徐教授，我们集团是诚心邀请，你要是有什么不放心的，现在就说出来，我肯定能给你个满意的答复。”

徐端颐见张思明说得诚恳，一咬牙，也将自己的顾虑说了出来：

“张总，我并不是怀疑元亨集团的实力，也不是质疑赵总想做好半导体的决心。