王骁是上午得到消息的，当天下午王骁就回到了滨城，低调的回到了滨城，然后低调的来到了实验室所在！

这地方现在是保密单位，普通人根本靠近不了！为的就是让这个项目保密不被发现。

尤其是在相关的扶持基金进场后，保密更严格了。要不是王骁是这个项目烦真正发起者，和绝大部分资金的供应着，王骁想要很容易的进入是很难得。

光刻机是半导体工业中的关键设备，主要用于制造芯片中的微小结构。它通过将掩模上的图形投影到硅片上，并使用紫外线照射硅片表面，使其形成微小的结构。

光刻机的核心部件包括镜头、光源、曝光台、测量台等。镜头是光刻机最核心的部分，采用的镜头可以达到高2米直径1米，甚至更大。

光源是光刻机核心之一，光刻机的工艺能力首先取决于其光源的波长。曝光台和测量台是承载硅片的工作台。

光刻机的工作原理虽然类似于照相机照相，但光刻刻的不是照片，而是电路图和其他电子元件。

光学系统：包括曝光光源、透镜、反射镜等。用来将掩模上的图形投影到硅片上。

机械系统：包括平台、运动控制系统*、自动对位系统等，用于控制硅片的位置和运动轨迹。控制系统：包括计算机、控制软件*等，用于控制整个光刻机的运行和曝光过程。

二、光刻机的工作原理

光刻机的工作原理主要包括曝光和显影两个过程

曝光过程（1）准备工作：将硅片放置在平台上，并通过自动

对位系统对硅片进行定位和对位。

（2）加热处理：将硅片加热至一定温度，以使其表

面更容易吸收光线。

（3）涂覆光刻胶*：将光刻胶涂覆在硅片表面，以